会出现微米级偏差；

第二，真空环境下的热变形补偿，掩膜台的金属构件在温度波动01摄氏度时，就会影响定位精度，他们试过用碳纤维复合材料，但成本太高，而且加工工艺还不成熟。」

2g？

陈延森哭笑不得。

要知道，掩膜台的加速度越大，可以缩短掩膜台的加速和减速时间，从而提高光刻效率，减少晶片制造的时间成本，这对于大规模晶片生产来说非常重要。

阿斯麦nxt 1950i duv光刻机的掩膜台加速度均值为15g，峰值可达25g。

华卓精科的掩膜台仅仅是能用而已，压根没法商业化。

他算是看明白了，以国内配套产业链的技术实力，很难支撑星源科技完全掌握光学系统的核心技术，这是绕不开的现实问题。

2g的加速度与阿斯麦25g的峰值比起来，就像蹒跚学步的孩童与百米冲刺的运动员，实力悬殊。

而且，加速度过大会对设备的机械结构、驱动系统和控制系统带来更大的压力，进而导致精度下降、稳定性降低和设备寿命缩短等问题。

同时，高加速度还会带来更大的能耗和发热问题，需要更先进的冷却和控制技术来解决。

很明显，华卓精科的技术方案属于『投机取巧』的类型，故意降低了加速度的数值，从而更容易保证精度和稳定性。

但这样的掩膜台，根本无法满足大规模晶片生产的实际需求。

「我知道了，先跳过掩膜台，把精力放在真空与环境控制系统上。」

陈延森想了想，对着林南吩咐道。

说完，他又看向梁劲松，不紧不慢地问道：「良率有没有提升？」

「老板，当前的良品率稳定在975，只要材料供应稳定，我能在三个月以内，把年产值提升到10亿美币的水准。」

梁劲松信心满满地回答道。

陈延森闻言，微微颔首，示意梁劲松继续介绍产能情况、工艺优化进度和检测环节。

半个小时后，视频会议结束。

陈延森坐在办公室里，点开了林南发来的技术文档。

掩膜台的技术难点主要集中在高精度运动控制、高加速度实现、与硅片台的同步精度等。

控制加速度的装置有磁阻式直线电机、音圈电机，保证稳定性和精度的零件包括滚珠丝杠、气浮轴承、磁悬浮轴承。

事实上，这些关键装置在国内并非找不到对应的供货商，问题在于他们提供的产品，技术水平落后了好几代。

陈延森迅速过了一遍技术文档，光看资料可解决不了问题，必须得深入一线，经过不断试错，才能找出突破点。

想到这里，他给林南留言，让对方先采购一批相关设备。

与此同时。

沪城，龙漕路200弄，易园写字楼。

裴毅守在电脑前，双眼死死盯着屏幕上的实时成交数据。

从0点到12点，筷跑闪购的总成交额为216亿，与拼呗比，肯定远远不及。

但216亿的销售额，放在整个电商圈内，也能轻松跻身第二梯队。

闪购并不属于传统电商模式，

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